実験装置

電子線描画装置(SEM)(クリーンルーム)

1

スパッタ装置(クリーンルーム)

2

ドライ エッチング装置(クリーンルーム)

3

CVD 装置(クリーンルーム)

4

DNA 作成装置 マイクロアレー

5

プローブ 顕微鏡

6

レーザー マニピュレーション システム (Room 03-104)

7

フェムト秒レーザー システム 45fs (Room 03-104)

8

フェムト秒レーザー システム Hurricane (Room 03-104)

9

時間分解光電子顕微鏡

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超高精度電子ビーム露光装置

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Last updated : 2014/03/12