- 電子線描画装置 (Electron Beam Drawing Equipment & Scanning Electron Microscope(クリーンルーム Cleanroom)
- スパッタ装置 Sputter Equipment (クリーンルーム Cleanroom)
- ドライ エッチング装置 Dry Etching Equipment (クリーンルーム Cleanroom)
- Chemical Vapor Deposition 装置 (クリーンルーム Cleanroom)
- DNA 作成装置 マイクロアレー (Fabrication Setup for DNA microarray)
- プローブ 顕微鏡 Probe Microscope
- レーザー マニピュレーション システム Laser Manipulation System (Room 03-104)
- フェムト秒レーザー システム Femtosecond Laser System,45fs (Room 03-104)
- フェムト秒レーザー システム Femtosecond Laser System,Hurricane (Room 03-104)
- 時間分解光電子顕微鏡
- 超高精度電子ビーム露光装置
電子線描画装置（ＳＥＭ）（クリーンルーム）
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スパッタ装置（クリーンルーム）
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ドライ エッチング装置（クリーンルーム）
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ＣＶＤ 装置（クリーンルーム）
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ＤＮＡ 作成装置 マイクロアレー
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プローブ 顕微鏡
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レーザー マニピュレーション システム (Room 03-104)
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フェムト秒レーザー システム ４５fs (Room 03-104)
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フェムト秒レーザー システム Hurricane (Room 03-104)
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時間分解光電子顕微鏡
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超高精度電子ビーム露光装置
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